Parameter teknis Hakuto Ion Etcher IBE:
Spesifikasi Teknis Hakuto Ion Etcher IBE:
|
Nomor Model |
Mesin Etching Ion 7.5IBE |
Mesin Ion 10IBE |
Mesin Etching Ion 20IBE-C |
Mesin Etching Ion 20IBE-J |
|
Lingkup penerapan |
Berlaku untuk lembaga penelitian ilmiah, penelitian laboratorium |
Cocok untuk produksi massal skala kecil dan penelitian laboratorium |
Mesin pengekoran ion untuk produksi massal skala menengah |
Mesin pengekoran ion untuk produksi massal |
|
Ukuran substrat |
Φ4 x 1 tablet atau |
Φ8 x 1 potongan |
Φ3 inci x 8 potongan |
Φ4 inci x 12 piring |
|
Sumber Ion |
8cm atau 10cm |
Sumber ion Kaufman 10cm |
20cm Kaufman sumber ion |
20cm Kaufman sumber ion |
